洁净室及洁净区空气洁净度整数等级

工业洁净室以无生命微粒为控制对象，其内部一般保持正压。适用于精密工业（如精密轴承等）、电子工业（如大规模集成电路等）、航天工业、电子产品组装、照相工业（如胶片制版等）、精密仪器仪表生产等行业。电子产品种类繁多，现代电子产品要求微型化、精密化、高纯度、高质量和高可靠性。以人们熟悉的手机、笔记本电脑、薄膜晶体管液晶显示器（简称 TFT-LCD）为例，他们所使用的集成电路、电子元器件以及其组装的生产过程都要求在受控的环境条件下进行操作，其中集成电路生产过程对环境的要求尤为严苛，当今线宽为45nm的超大规模集成电路产品的生产环境—洁净室的受控粒子尺寸要求小于0.02 μ ｍ 甚至更小。各类产品的品种不同、生产工艺不同，所要求的空气洁净度等级也不相同。因此在进行洁净厂房设计时，洁净室的空气洁净度等级应根据生产工艺的要求来确定。洁净室及洁净区空气洁净度整数等级见表 １。TFT-LCD制造用洁净厂房的空气洁净度等级、温度、湿度见表２。